| 真空抽氣系統： | 真空幫浦： (1)DIFFUSION PUMP:DP-10 Pump speed:570 L/S L/S(air) (2) ROTARY PUMP:400L/min (3) 保護裝置:DIFFUSION幫浦若無水超過一分鐘以上時主機自動關閉，停電時，所有閥門會自動關閉，電來時需再次開機啟動。 (4) 高壓安全門鎖保護，腔門關閉檢知。 |
| 抽氣閥門： (1) 真空主抽氣閥一組 (2) 粗抽閥一組:Nw50 pneumatic valve |
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| 真空計： | 高真空計（full range）,高真空采冷陰極真空計： 量測範圍：1000 mbar To 5*10-9 mbar Set point：2 Measuring point:1 |
| 低真空計,低真空計采派朗尼真空計： 量測範圍：1000mbar To 5*10-4mbar Set point：2 Measuring point:1 |
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| 真空蒸鍍系統： | 真空腔體： (1) 形式：立式 (2) 尺寸：W400*L400*H400 (3) 材質：SUS 304 (4) 冷卻：外周用SUS304冷卻水管環繞 (5) 內部保護襯板：SUS 304*2套 (6) VIEW PORT:6” |
| Thermal Source： | (1)電源：Transformer 300A,10Volt 一組 (2)Electrode：2 sets 基板旋轉架 Substrate holder:(不包含於報價中) (3)載片刻依客戶訂制 (4)轉速：使用變頻馬達5-20rpm(可調速) |
